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質量流量控制器 型號；DP-D07-7B

更新時間：2017-05-24點擊次數：790

質量流量控制器         型號；DP-D07-7B

 

DP-D07-7B型 質量流量控制器

儀器簡介：

質量流量控制器（MFC）用于對氣體的質量流量行地測量和控制。廣泛用于電子藝設備、真空鍍膜、 石油化、冶金、制藥、光纖熔煉、分析測量儀器、制氣配氣等行業。

參數：

滿量程流量范圍（N2）

5SCCM～10SLM

控制范圍

2～100％F.S.

閥類型（及閥初始狀態）

電磁調節閥（常閉）

準確度

±1.5％F.S.

線性

±0.5～1.5％F.S.

重復度

±0.2％F.S.

響應時間

≤7sec

作溫度范圍

5～45℃

作壓差

0.1～0.5MPa

耐壓

3MPa

漏氣率

1×10-8atm.cc/sec He

密封材料

氟橡膠（或氯丁橡膠）

電插頭形式

DB15 pin（Female）

接頭選擇

VCR 1/4”或φ4hose、φ6hose 
Swagelok 1/4”或φ6、φ